日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 特點(diǎn)介紹

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過(guò)排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨，實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過(guò)濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●STVT50系列采用串聯(lián)隔膜式，具有輸送液化氣體的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)。

●從接觸氣體部排除彈簧，降低了顆粒發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)。

●通過(guò)進(jìn)行加溫供給，也能夠?qū)?yīng)蒸汽壓為1.0MPa以上的氣體。最大使用壓力2.5MPa。

●作為腐蝕性氣體用，準(zhǔn)備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 規(guī)格參數(shù)

入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過(guò)濾器過(guò)濾過(guò)度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:2.5MPa0.6MPa220L/min（或）（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2氣體）-5～40°C1.8kg（2端口），2.0kg（3端口）20μm/10μm（STVT50SH）Ra0.25μm（可選:Ra0.1μm）1/4"1.3 10-11Pa m3/sec以下