日本mitaka非接觸三維測(cè)量裝置高精度耐磨損 NH系列 特點(diǎn)介紹

NH系列實(shí)現(xiàn)了高精度和易用性，

解決了過去的測(cè)量問題。

?可在不損壞測(cè)量對(duì)象的情況下進(jìn)行測(cè)量

?擅長測(cè)量陡峭的斜坡和大的凹凸不平

?直接測(cè)量鏡面和透鏡等透明物體

非接觸式測(cè)量可防止探頭磨損

由于不存在非接觸式探頭磨損等連續(xù)變化，因此

日常維護(hù)也更加容易。

始終可以觀察到測(cè)量點(diǎn)和工件表面的激光光斑。圖像處理可實(shí)現(xiàn)邊緣檢測(cè)和圓測(cè)量。

高精度、高剛性XY平臺(tái)

NH系列的XY平臺(tái)基于“高精度識(shí)別=堅(jiān)固機(jī)構(gòu)"的理念，經(jīng)過精心加工和一一檢驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)行并行度。

日本mitaka非接觸三維測(cè)量裝置高精度耐磨損 NH系列 規(guī)格參數(shù)

出色的角度跟蹤

高靈敏度自動(dòng)對(duì)焦傳感器可捕獲表面的輕微反射光。能夠直接精確測(cè)量陡坡和臺(tái)階。

與表面顏色和反射率無關(guān)

可以直接測(cè)量從表面反射率約為 0.5% 的鍍膜玻璃到反射率超過 90% 的鏡面。

NH 系列由用于高度測(cè)量的激光自動(dòng)對(duì)焦 (AF) 顯微鏡和高精度 XYZ 平臺(tái)組成。圖中，送入顯微鏡鏡筒的激光束穿過物鏡，向光軸中心焦平面行進(jìn)，在工件表面反射，再次穿過物鏡，在工件表面形成圖像。自動(dòng)對(duì)焦傳感器。散焦時(shí)，激光光斑在傳感器上的位置會(huì)發(fā)生變化，因此傳感器會(huì)捕獲此位置變化，并使用 AF 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將物鏡定位到焦點(diǎn)。自動(dòng)XY平臺(tái)掃描工件并捕獲每個(gè)聚焦點(diǎn)的XYZ值以測(cè)量形狀。這種方法可以在大范圍內(nèi)進(jìn)行高精度測(cè)量，而不受工件表面顏色或反射率的影響。此外，除了傳統(tǒng)的指數(shù)測(cè)量模式外，它還配備了掃描自動(dòng)對(duì)焦模式，可實(shí)現(xiàn)粗糙度測(cè)量等高速測(cè)量。