美國艾默生TESCOM超高純度壓力減壓閥調(diào)節(jié)器 64-3200/64-3400系列 特點(diǎn)介紹

TESCOM 64-3200 系列超高純度、高流量膜片式減壓調(diào)節(jié)器提供 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米的表面光潔度，并采用哈氏合金® 倒角}倒角。

最大流量可達(dá) 31.8 SCFM/900 SLPM，進(jìn)口壓力為 150、1000、1500 psig/10.3、69.0、103 bar

TESCOM 64-3400 系列雙級(jí)、超高純度壓力減壓調(diào)節(jié)器采用緊固膜片設(shè)計(jì)，表面光潔度為 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米，可選配哈氏合金®}精加工。

進(jìn)口壓力為 3500 psi/241 巴，出口壓力最高為 150 p si/10.3 bar

美國艾默生TESCOM超高純度壓力減壓閥調(diào)節(jié)器 64-3200/64-3400系列 規(guī)格參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

·大宗特種氣體系統(tǒng)（BS GS）

·1/2"使用點(diǎn)·工具連接

·氣柜特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

·專為高流量大宗特種氣體而設(shè)計(jì)

·哈氏合金®可選修剪·正閉合密封，綁帶膜片設(shè)計(jì)·金屬對(duì)金屬膜片密封以保證高氣密性

應(yīng)用領(lǐng)域

· 氣體室

· 半導(dǎo)體制造

· 研究實(shí)驗(yàn)室特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

· 10 Ra微英寸/0.25微米內(nèi)表面

· 可提供全內(nèi) Electropolish· 金屬到金屬的機(jī)身到隔膜密封，以實(shí)現(xiàn)高泄漏完整性· 選擇自由活塞或綁扎隔膜