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YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-09-06      瀏覽次數(shù):579

YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用


表面瑕疵燈用于人工檢測(cè)工件表面灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn)。

檢測(cè)原理是:利用適合的LED 燈源,通過光學(xué)透鏡和濾光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的瑕疵。

YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

基本信息高強(qiáng)度鹵素光源裝置

超精密平面檢測(cè)的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測(cè)小于 0.2 μm 的缺陷。

“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置

用于檢測(cè)最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。觀察晶圓和液晶板、玻璃表面、部件表面的瑕疵,廣泛應(yīng)用于鏡片、液晶玻璃、手機(jī)屏幕、汽車玻璃,晶圓片、模具、汽車、手機(jī)保護(hù)膜、柔性基板、網(wǎng)版絲印等行業(yè)

表面的照度可超過 400,000 Lx。

另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/p>

光照不均勻的情況很少,光照強(qiáng)度穩(wěn)定銳利。

姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。

■ 光源采用鹵素?zé)?/p>

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請(qǐng)用于超精密平面檢測(cè)!

高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測(cè)劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。

此外,本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī),有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。

YP-150I,可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測(cè)出所有塵埃。我們有不同強(qiáng)度及樣式的表面瑕疵檢測(cè)燈,如果是測(cè)試要求比較高的大半導(dǎo)體廠,可使用強(qiáng)度為30萬LX以上的檢查燈,如果是測(cè)試要求沒那么高的一般封測(cè)廠,可采用光源強(qiáng)度達(dá) 5萬LX的檢查燈。檢測(cè)燈使用壽命為2萬小時(shí)以上,比傳統(tǒng)的檢查燈壽命長(zhǎng)且效用增強(qiáng) 10 倍。


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