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日本musashino高真空2軸旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機電機驅(qū)動 ICF114 采用鋁合金制成，重量輕。 鋁制法蘭型根據(jù) ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。 內(nèi)軸和外軸可獨立旋轉(zhuǎn)。 規(guī)格與超高真空兼容。 可由電機驅(qū)動。 配有夾緊機構(gòu)。

日本musashino超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機分辨率高 ICF034/ICF070 采用鋁合金制成，體積小，重量輕。 鋁制法蘭型根據(jù) ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。 磁鐵沒有氣體排放。 規(guī)格與超高真空兼容。 高精度和高分辨率（極低的背隙）。 配有夾緊機構(gòu)。

日本yamatokiki磁力耦合式旋轉(zhuǎn)引入機高真空 RFD-034/RFD-034H 許多應(yīng)用廣泛需要在真空中旋轉(zhuǎn)樣品或儀器的機構(gòu)。 根據(jù)傳遞扭矩的不同，有兩種類型：波紋管式旋轉(zhuǎn)引入機和磁力耦合式旋轉(zhuǎn)引入機。

日本yamatokiki波紋管式旋轉(zhuǎn)引進機導(dǎo)入機 RFD-034/RFD-034H 許多應(yīng)用廣泛需要在真空中旋轉(zhuǎn)樣品或儀器的機構(gòu)。 根據(jù)傳遞扭矩的不同，有兩種類型：波紋管式旋轉(zhuǎn)引入機和磁力耦合式旋轉(zhuǎn)引入機。

日本ARIOS超小型旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機超高真空領(lǐng)域用 RFT系列 這是將旋轉(zhuǎn)運動從大氣側(cè)傳遞至真空的部件。這稱為旋轉(zhuǎn)引入機。 旋轉(zhuǎn)引入機主要有三種類型：用 O 形圈密封軸的類型、使用波紋管的類型以及使用磁力耦合器的類型。

日本ARIOS超小型旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機耐高溫壓力驅(qū)動 RFT系列 這是將旋轉(zhuǎn)運動從大氣側(cè)傳遞至真空的部件。這稱為旋轉(zhuǎn)引入機。 旋轉(zhuǎn)引入機主要有三種類型：用 O 形圈密封軸的類型、使用波紋管的類型以及使用磁力耦合器的類型。

日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機導(dǎo)入機 ILC-34-10/34-15/34-20系列 直進機是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

日本IKC驅(qū)動裝置波紋管式直導(dǎo)入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 直進機是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。