日本ARIOS超小型旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)超高真空領(lǐng)域用 RFT系列 特點(diǎn)介紹

這是將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)從大氣側(cè)傳遞至真空的部件。這稱為旋轉(zhuǎn)引入機(jī)。

旋轉(zhuǎn)引入機(jī)主要有三種類型：用 O 形圈密封軸的類型、使用波紋管的類型以及使用磁力耦合器的類型。

該機(jī)采用磁力耦合，該類型的優(yōu)點(diǎn)是可以在超高真空中使用，并且壽命長。

該機(jī)器的另一個(gè)特點(diǎn)是，由于采用強(qiáng)稀土磁體的磁力耦合結(jié)構(gòu)，因此可以連續(xù)高速旋轉(zhuǎn)。滑動(dòng)部件是軸承，只需更換即可半性使用。

由于耦合是通過磁力完成的，如果施加大扭矩，可能會(huì)發(fā)生同步丟失。雖然這是一個(gè)缺點(diǎn)，但它也可以用來保護(hù)移動(dòng)側(cè)免受過大扭矩的影響。

緊湊的設(shè)計(jì)允許安裝在任何地方。它使用許多通用部件并且具有低成本設(shè)計(jì)。

采用磁力耦合結(jié)構(gòu)，使用壽命長。

兼容200℃高溫烘烤。(NW法蘭型150℃)

根據(jù)應(yīng)用的不同，有多種扭矩選項(xiàng)可供選擇。

設(shè)置各種選項(xiàng)。（260℃高溫型、壓縮空氣驅(qū)動(dòng)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)等）

日本ARIOS超小型旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)超高真空領(lǐng)域用 RFT系列 規(guī)格參數(shù)

RFT 34B RFT 34S RFT 34D RFT 34T RFT 3470S RFT 70S RFT 70D RFT 7034S

法蘭 φ34CF φ70CF

類型 低扭矩 正常扭矩 高扭矩 普通扭矩2軸 正常扭矩 高扭矩 超高扭矩 高扭矩中空型

（φ34CF安裝中空型）

軸徑 φ6 φ9 / φ4 φ6 φ12 φ12 不適用

傳遞扭矩（牛米） 0.15 0.7 2.0 每個(gè)軸 0.7 0.7 2.4 6.4 2.4